一,、TFT-LCD技術(shù)簡介
TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)是一種基于薄膜晶體管(TFT)技術(shù)的半導(dǎo)體顯示面板,,其核心結(jié)構(gòu)由兩片玻璃基板夾持液晶層構(gòu)成。下層玻璃基板集成TFT陣列,,每個像素由獨(dú)立的TFT開關(guān)控制,,通過調(diào)節(jié)電壓改變液晶分子排列方向,從而控制背光源的透光率,;上層玻璃基板覆蓋紅,、綠、藍(lán)三色濾光片,,通過色光混合實(shí)現(xiàn)彩色顯示,。該技術(shù)采用非晶硅(a-Si)或氧化物半導(dǎo)體(如IGZO)作為TFT溝道層材料,結(jié)合濺射,、化學(xué)氣相沉積(CVD)和光刻等精密工藝制造,。
TFT-LCD的優(yōu)勢體現(xiàn)在高分辨率(可達(dá)8K)、低功耗(約為CRT的1/10),、輕薄化(厚度可低于1mm)及寬溫工作范圍(-20℃至50℃),。其制造涉及陣列(Array)、彩膜(CF),、成盒(Cell)和模組(Module)四大工藝,,其中陣列工藝通過5-7次光刻步驟形成復(fù)雜電路結(jié)構(gòu),精度達(dá)微米級,。當(dāng)前技術(shù)趨勢聚焦大尺寸化(玻璃基板達(dá)950×1200mm),、柔性顯示(柔性基板結(jié)合低溫多晶硅技術(shù))及車載顯示(高響應(yīng)速度、抗震動性能優(yōu)化),。作為主流顯示技術(shù),,TFT-LCD廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、電視,、車載儀表及工業(yè)控制等領(lǐng)域,市場規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大,。
二,、氧化鋁腔體遮蔽件(Shield)
氧化鋁陶瓷具有高硬度,、高機(jī)械強(qiáng)度、優(yōu)異的耐磨性和耐高溫性,,同時具備高電阻率和良好的電絕緣性能,,能夠在真空、高溫等極端環(huán)境下滿足半導(dǎo)體制造的復(fù)雜性能要求,,在TFT-LCD等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中廣泛用于承載,、封裝和隔離部件,具體產(chǎn)品如圓環(huán)類組件(Ring),、腔體遮蔽件(Shield),、承載固定組件、傳送組件,;以及真空吸盤,、靜電卡盤、陶瓷加熱器,、拋光臺等模塊類陶瓷零部件,。
氧化鋁腔體遮蔽件(Shield)是TFT-LCD制造中用于工藝控制的精密組件,其核心功能在于通過物理遮擋實(shí)現(xiàn)局部區(qū)域的加工保護(hù),。主要功能特性:
(1)高精度定位控制:腔體遮蔽件通過高精度開孔設(shè)計(公差≤5μm),,在曝光或刻蝕工序中精準(zhǔn)限定加工區(qū)域,確保TFT陣列中薄膜晶體管的柵極,、源漏極等關(guān)鍵結(jié)構(gòu)的位置一致性,。
(2)熱穩(wěn)定性:氧化鋁陶瓷基材可耐受300℃以上的高溫退火工藝,確保在高溫環(huán)境下的尺寸穩(wěn)定性,。
(3)表面處理工藝:遮蔽件接觸面需達(dá)到鏡面拋光(Ra≤0.02μm),,避免與玻璃基板摩擦產(chǎn)生微顆粒污染。
(4)工藝污染阻隔:采用特殊涂層的遮蔽件可在化學(xué)氣相沉積(CVD)過程中隔離反應(yīng)氣體滲透,,防止非目標(biāo)區(qū)域形成寄生膜層,。
精城特瓷為某半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)定制的997高純氧化鋁大尺寸陶瓷部件,尺寸近2米×0.5米,,厚度僅7毫米,。產(chǎn)品通過等靜壓成型與精密加工實(shí)現(xiàn)高強(qiáng)度、零缺陷和微米級平整度,,滿足半導(dǎo)體制造對超薄,、高強(qiáng)、耐磨損材料的嚴(yán)苛需求,。
三,、生產(chǎn)與加工能力
精城特瓷擁有超過30年的精細(xì)陶瓷研發(fā)與生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),公司建立起了工業(yè)陶瓷產(chǎn)品研發(fā),、制粉,、成型,、燒結(jié),以及陶瓷結(jié)構(gòu)件設(shè)計,、模具加工,、陶瓷精密加工、檢測與裝配等全流程的陶瓷產(chǎn)品設(shè)計,、生產(chǎn)與加工能力,,是精細(xì)陶瓷領(lǐng)域的制造商、供應(yīng)商和方案提供商,;可為客戶提供測繪與方案設(shè)計,,來圖來樣定制、來件加工等服務(wù),。
公司的主要陶瓷材質(zhì)有碳化硅,、氧化鋁、氧化鋯,、ZTA,、ARZ、碳化硼,、碳化鈦,、氮碳化鈦等。
? 結(jié)構(gòu)陶瓷加工中心
項(xiàng)目 |
加工精度 |
直線度 真圓度 同軸度 同心度 跳動 |
0.005mm |
平面度 平行度 垂直度 |
0.005mm |
位置度 對稱度 |
0.005mm |
平面光潔度 曲面光潔度 異形光潔度 |
Ra0.02 |